什么是探针卡？探针卡的使用及原理

什么是探针卡？

探针卡是半导体制造过程中晶圆级检测所必需的设备。

安装在晶圆检查装置上使用。半导体的大部分成本是由制造设备决定的，但封装本身和封装的成本在制造阶段也有重大影响。因此，可以通过在已完成半导体制造工艺的晶圆级确定产品的质量并仅将无缺陷的产品发送到后续工艺来降低成本。

成百上千个芯片排列在单个晶圆上，晶圆检查是在将芯片切割成单个芯片并封装之前确定芯片的质量和分类的过程，这就是探针卡。

探针卡使用

晶圆检查使用LSI测试器和芯片测试器进行，LSI测试器将被称为测试图案的电信号输入芯片，并将输出信号图案与期望值进行比较以进行判断，而芯片测试器将信号精确地连接到每个芯片的电极子这是通过控制水平定位的晶圆探测器和具有相同数量的探针的探针卡来执行的，这些探针的位置可以精确地命中芯片内的数百到数万个电极子。

因此，必须为每种芯片设计专门创建探针卡，这本身成本高昂，并且由于使用中的磨损而必须重新创建，但在考虑总体制造成本时这是至关重要的。半导体芯片不仅用于计算机，还用于日常生活中无数的产品，而探针卡是其中的支柱之一。

探针卡原理

探针卡安装在晶圆探针台上，作为通过晶圆探针台连接芯片的电极子和LSI测试器的连接器。

LSI测试头上安装有螺旋接触针和高密度针进行连接，但半导体芯片上的电极子的排列间距很窄，为几十微米，比测试头的针排列密度更细。需要通过探针卡将两者连接起来。

探针卡结构

探针卡的顶侧具有用于测试头的连接端子，底侧具有用于连接到半导体芯片的电极子的针。

将测试头与探针卡的连接端子连接，再将半导体芯片的电极子与探针卡的针连接，进行电连接，根据来自测试头的电信号进行合格/不合格判断。 LSI 测试仪检查硅晶圆上的每个半导体芯片。

探针卡有两种类型：高级型和悬臂型。高级型有一个带有垂直端子的块附着在板上，允许探针自由排列，并且易于维护。在悬臂式中，探针直接连接到电路板上，无需使用块，因此可以轻松容纳窄间距端子。

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